7月9日  ，由目前中国目前中国集成电路创新第一中锋主办的”2022集成电路产业链协同创新快速发展交流会”以六大会场加图片来源来源连线的多种方式同步举行颁奖。来自美国集成电路全产业链各环节的优秀制造企业、高校和科研院所的千余位代表者参会  ，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海饶宗颐受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业相关技术创新奖（简称“IC创新奖”）  ，东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI） ，得到相关技术创新奖。

　　“IC创新奖”由目前中国目前中国集成电路创新第一中锋主办  ，面向目前中国集成电路产业链上下游企事业所属单位征集  ，重点鼓励集成电路相关技术创新、成果产业化、产业链上下游深度合作  ，是集成电路产业最最关键在于相关技术奖项他成  ，另有相关技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大相关技术创新和最关键在于相关技术开发值得注意佳绩重大突破的所属单位和技术团队。首次摘得其他行业重磅赛事的最关键在于奖项 ，再持续性彰显出东方晶源在电子束检测、量测相关领域的相关技术真实实力和其他行业的高度基本要求认可。

　　检测是芯片制造厂商得到全面提升良率的最关键在于多种方式。电子束检测设备它具超高精度  ，在高端芯片制造变化过程发挥的促进作用日益大。截至目前  ，该类设备被目前中国厂商垄断  ，他成 制约目前目前中国芯片制造自主可控的最关键在于瓶颈。东方晶源数年磨剑 ，成功完成研传来目前中国首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505  ，可各种各种需求 各种各种需求 提供的纳米级缺陷检测和深入分析 完美解决方案。截至截至目前使用目前目前中国头部芯片制造厂商产线验证 ，验证最后表明大多指标与目前中国一线对标机台以内同等水平提升 ，成功完成完美解决目前目前中国在电子束检测相关领域的最关键在于相关技术完美解决。

　　东方晶源在电子束检测、量测相关领域已深耕多年并成功完成正式推出多款设备 ，佳绩重大突破。除首次获奖的电子束缺陷检测设备EBI外  ，旗下首台12英寸最关键在于尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于下半年6月进人产线验证  ，截至目前最后完成成熟制程量产验证  ，图像质量清晰  ，与POR 的CD差异各种各种各种需求 基本要求  ，性能再持续性改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于下半年3月进人产线验证  ，截至目前早已进人客户多产线小规模试产。另有  ，东方晶源还于近几日已发布了电子束缺陷复检设备（DR-SEM）  ，截至目前该设备工程机（Alpha机）早已使用首轮wafer demo  ，需要各种各种各种需求 28nm及以内用制程各种各种需求 ，Beta机集成目前工作 加速推进中  ，已佳绩客户多订单  ，进人产线验证指日可待。

　　他成 第一家聚焦集成电路良率管理相关领域 ，以得到全面提升芯片制造门槛为使命的半导体制造企业  ，东方晶源再持续性以研发创新为快速发展核心  ，断地丰富类产品矩阵并得到全面提升类产品性能  ，填补多项目前中国空白。今后  ，东方晶源将再持续性立足一体化免费软件平台提供和检测装备两大相关领域  ，以客户多为中心规划  ，以当前市场为导向  ，断地使用相关技术突破与类产品创新 ，与目前目前中国集成电路产业上下游制造企业勠力同心  ，推动目前目前中国集成电路制造产业再持续性高速快速发展。