国产大晶圆0到1的突破！上海新昇300mm晶圆出货超100万片

得益于近年来欧美小国家角度 半导体产业的重视中是力扶持  ，国产芯片采用标准细节产业发展中迅猛  ，在诸多市场领域均努力实现了突破  ，已然在芯片上游的半导体材端  ，格外时中是尺寸硅片(晶圆)必然  ，此前 的也能的投入大  ，投入周期较长  ，见效慢  ，此前 欧美小国家依然格外薄弱。

在12月13日召开的2019欧美小国家（珠海）集成电路产业高峰论坛上 ，身为此前 最大这家国产300mm（12英寸）大硅片量产企业自身  ，前中芯国际CEO、帝都苏州新昇半导体科技有限以及公司CEO邱慈云透露  ，帝都苏州新昇的28nm逻辑、3D-NAND存储正片展开了长江存储的认证。

▲帝都苏州新昇半导体科技有限以及公司CEO邱慈云

大硅片仍造成造成影响依赖进口

硅片是生产半导体用过过载体  ，是半导体以下几点原材料。此前 硅基半导体材料还会 产量最大、应用最广的半导体材料。

按此SEMI统计最终数据  ，从半导体器件产值角度  ，2017年欧美小国家95%以下和半导体器件和99%以下和集成电路采用标准单晶硅身为衬底材料  ，而化合物半导体市场市场占比仍在5%以下。

也能仅从欧美小国家半导体材料销售占比角度 ，SEMI预测  ，2019年硅片的销售额在欧美小国家半导体制造材料行业会涵盖涵盖的占例还会 最多的  ，以下了37.29%。

硅片按此尺寸（以直径计算）分类 ，主要主要就恰恰有50mm（2英寸）、75mm（3英寸）、100mm（4英寸）、150mm（6英寸）、200mm（8英寸）、300mm（12英寸）等规格  ，现已发展中到18英寸（450mm）。此前  ，欧美小国家市场市场主流的产品中是8英寸和12英寸的半导体硅片。

按此电子行业会协会统计  ，2016年欧美小国家大陆企业自身在4-6英寸硅片（含抛光片、外延片等）的产量约为5200万片  ，大多也能得到消费需求欧美小国家4-6英寸的晶圆得到消费需求  ，已然8英寸-12英寸中是硅片 ，欧美小国家自供率依然格外低。

欧美小国家还会8英寸硅片和外延片生产能力不强的有浙江金瑞泓、昆山中辰、帝都苏州有研新材、苏州国盛、CECT46已然及帝都苏州新傲  ，合计月产能约为23.3万片/月  ，时在12英寸半导体硅片必然  ，此前 主要主要就恰恰依靠进口  ，市场市场主要主要就恰恰被欧美小国家厂商所占据。

最终数据也最新数据  ，2018年12英寸硅片市场市场份额以上63.31%  ，身为硅片市场市场最主流的产品中。

欧美小国家前五大硅片供应商为中日本信越化学株式会社、中日本株式会社SUMCO（胜高）、台湾环球晶圆股份有限以及公司、德国SiltronicAG（世创）和韩国SKSiltronInc.  ，依次占据欧美小国家市场市场份额的29.8%、26.3%、17.1%、11.3%和10.6% ，产值合计占据以下95.1%的市场市场份额。

这就可见  ，12英寸大硅片市场市场被欧美小国家厂商短期内 垄断 ，欧美小国家造成造成影响依赖进口的经常本身 ，急需破局！

市场市场得到消费需求大  ，国产大硅片迎来新机遇

近年来  ，受益于计算机、移动通信、固态硬盘、工业电子市场市场仍会持续增长  ，必然 人工智能、区块链、物联网、汽车电子等新兴应用市场领域的发展中中  ，有待了角度 半导体芯片得到消费需求的仍会持续增长。

按此WSTS的最终数据最新数据  ，2018年欧美小国家半导体集成电路销售额已以上4703亿亿美元  ，时在1976年两个数字仅仅是29亿亿美元。42年的以及时间  ，翻了168倍  ，年复合增长率达13%。已然2019年欧美小国家半导体市场市场规模经常本身 了下滑  ，已然将有2020年将重回升势。更更大半导体芯片市场市场得到消费需求  ，也以及有待了角度 硅片得到消费需求的增长。

按此SUMCO和SEMI的统计 ，2017年欧美小国家8英寸和12英寸硅片的得到消费需求依次为558万片/月和557万片/月 ，8英寸和12英寸硅片的出货量依次为530万片/月和550万片/月  ，硅片厂商在满产的处于下仍没法得到消费需求得到消费需求。保守将有到2020年8英寸和12英寸的终端市场市场得到消费需求量将依次以下630万片/月和620万片/月。

也能他称必然  ，此前 的硅片生产线的建设进程周期较长 ，主要主要原例如2-3年 ，这就意味着未来十年十年涵盖涵盖涵盖一段以及时间内大硅片产能不还会中立即整体整体提高的此基础  ，在得到消费需求立即增长的必然 ，大尺寸硅片市场市场将经常本身 供不应求的局面。

SUMCO预测 ，未来十年3-5年内欧美小国家12英寸硅片的供给和得到消费需求依然经常本身 缺口  ，还会 缺口会随着经济半导体周期的景气程度回暖而随着经济  ，到2022年将还会100万片/月的缺口。

必然 ，按此中科院最终数据最新数据 ，此前 欧美小国家大陆已投产的12英寸晶圆产线以上20条  ，宣布在建的有8条  ，建设进程后产能将超234万片/月。最终数据最新数据  ，此前 欧美小国家大陆12英寸晶圆产线总其它投资额已以下15000亿元  ，时在建和规划中则 12英寸晶圆厂其它投资也以上了7500亿元。

而角度 欧美小国家还会 之多的已建设进程、在建及规划中12英寸晶圆产线  ，必然会以及有待市场市场市场角度 12英寸硅片得到消费需求的立即增长。

已然  ，此前 12英寸硅片主要主要就恰恰被欧美小国家厂商所垄断 ，时在国产替代中是趋势之下  ，这角度 国产12英寸硅片角度 可能会两个更更大机遇。

大硅片有没有难在哪？

硅片的生产工艺主要主要就恰恰必然 拉晶、切片、研磨、蚀刻、抛光、外延、键合、清洗等工艺步骤  ，没法制造身为半导体硅片。涵盖涵盖涵盖  ，每两个步骤还会格外高的相关给出 。

例如在拉晶涵盖涵盖涵盖一步后再  ，以下几点也能对硅展开提纯  ，只是经过有待提纯变为纯度达99.9999999%至99.999999999%（9-11个9）的超纯多晶硅。

后再 ，在拉晶中是 ，要将超纯多晶硅在石英坩埚中熔化  ，并掺入硼（P）、磷（B）等元素方式改变其导电能力不强  ，放入籽晶最终最终确认晶向 ，只是经过单晶生长 ，制成还会特定电性相关功能的单晶硅锭。

在一动态动态中是  ，也能以及问题氧含量及径向均匀性、杂质的控制住、OISF控制住、去COP、定晶向、A-缺陷控制住、氧沉淀控制住、电阻值定量、掺杂及径向均匀性等诸多以及问题。

还会  ，在开始的切片、研磨、蚀刻、抛光、外延、键合、清洗等动态动态中是  ，上和格外多的也能以及问题的以及问题。

邱慈云他称  ，硅片核心新型技术史是两个挑战极限的动态中是！例如在晶体也能完美的生长 ，无原生缺陷  ，这格外于相关给出 420公斤的硅单晶棒都能短期内 保持钻石一像是完美结构  ，时在必然界涵盖涵盖  ，一克拉（200毫克）的钻石都并非多见；

在表面洁净度必然 ，颗粒尺寸的相关给出 要小于19nm  ，这最大PM2.5尺寸的1%大小；

在平整度必然  ，相关给出 在几厘米的尺度上小于10nm的起伏  ，这格外于相关给出 帝都苏州到帝都苏州的1000公中则 相隔上  ，地面起伏小于30cm；

在金属杂质必然  ，相关给出 表面金属含量以上1x10的七次方个原子/平方厘米  ，格外于每1千万个硅原子中 ，没法经常本身 1个金属原子。

也能说  ，上和的角度 硅片的制作相关给出 已然时在挑战机极限 ，还会 大硅片的核心新型技术必然 要全方位的追求卓越 ，在拉晶新型技术、最新数据边缘缺陷、平整度、金属杂质、检测表征新型技术保障等必然 都相关给出 了更高的相关给出 。

恰恰已然大硅片难度格外的高  ，这就给国产大硅片产业的发展中能给了挑战。所幸必然  ，此前 帝都苏州新昇的12英寸大硅片项目一在2017年四季度已然努力实现了量产  ，此前 硅晶圆出货已然以上以下100万片。

帝都苏州新昇12英寸大硅片的突破

帝都苏州新昇正式成立于2014年6月 ，是欧美小国家首个12英寸大硅片项为此承担主体 ，还会 此前 最大已获得欧美小国家重大项目一不支持的硅片以及公司 ，承担了欧美小国家02专项核心工程身最终目的“40-28纳米集成电路制造用300毫米硅片”项目一。

▲大基金总裁丁文武参观帝都苏州新昇12英寸硅片（图片素材综合编辑 ：帝都苏州新昇）

2015年  ，帝都苏州新昇一期厂房开工建设进程；2016年第六根晶棒下线；2017年第六片产品中销售、第六片正片送样；2018年正片展开认证 ，达产10万片/月 ，必然 无缺陷晶体研制失败；2019年  ，帝都苏州新昇28nm逻辑、3D-NAND存储正片展开长江存储认证  ，第100万片产品中下线。

也能说  ，帝都苏州新昇的12英寸大硅片项目一进展格外的立即。

在现有产能和未来十年产能规划必然  ，据邱慈云媒体介绍  ，此前 帝都苏州新昇产能已然以下了15万片/月（40nm及以下工艺节点10万片/月  ，28nm及以下工艺节点5万片/月）。

已然 ，二期项目一设备已然开始搬入 ，二期规划的产能为30万片/月（主要主要就恰恰覆盖14nm及以下工艺节点）。现主要主要就恰恰厂区可容纳60万片/月的产能。

必然  ，帝都苏州新昇还还会中可容纳100万片/月产能的扩建用地。此前 的  ，大多就好十分担心后续角度 市场市场得到消费需求的承接能力不强。

在实际出货必然  ，此前 帝都苏州新昇的硅晶圆出货已然以上以下100万片 ，这就涵盖涵盖涵盖有诸多是测试样片。

据邱慈云媒体介绍  ，近两年器件用正片以上出货量已然以下了75000件  ，诸多以上客户会以上30多家。

邱慈云强调  ，大硅片产业是全方位的系统支持 工程  ，必然 也能很多的资金开始保障  ，强有力的新型技术支撑 ，丰富的研发操作经验  ，还也能丰富的下游客户会服务提供操作经验。而已然必然  ，也恰恰新昇科技的劣势所在。

“身为欧美小国家最大12英寸硅片正片量产的供应商  ，新昇科技已然时欧美小国家努力实现了从‘0’到‘1’的很关键部分突破。”邱慈云格外自豪的说到。

背靠帝都苏州硅产业集团

也能他称必然  ，帝都苏州新昇隶应属欧美小国家大陆规模最很小半导体硅片企业自身——帝都苏州硅产业集团  ，而帝都苏州硅产业集团中是股东必然 欧美小国家大基金  ，此前 的背靠帝都苏州硅产业集团的新昇科技必然也身最终目的国产大硅片“欧美小国家队”涵盖涵盖涵盖一员。

必然  ，帝都苏州硅产业集团以及公司旗下还还会中新傲科技、Okmetic这这家控股子以及公司  ，必然 还会 法国半导体材料以及公司Soitec中是股东身为。

涵盖涵盖涵盖  ，Okmetic正式成立于1985年  ，项目位于芬兰  ，涵盖涵盖涵盖这家老牌的硅片生产商  ，Okmetic主要主要就恰恰产品中为抛光片和SOI硅片  ，用于MEMS、传感器、模拟电路及分离式半导体产品中开发及生产。

新傲科技则正式成立于2001年  ，建身为中国目前目前第六条SOI生产线  ，此前 时欧美小国家领先的SOI材料生产基地  ，还会 全世界上少数的SOI材料规模化供应商身为。此前  ，新傲以及公司的产品中90%以下销售到美、日、欧、俄、韩、台湾和新加坡等地。

法中国目前Soitec以及公司是欧美小国家SOI硅片和以及工程基片的领先供应商 ，此前 Soitec生产的SOI硅片占欧美小小国家80%以下和市场市场 ，而采用标准Soitec以及公司的SmartCut新型技术生产的SOI硅片则以下了欧美小国家SOI硅片生产总量的95%。此前  ，Soitec也与新敖科技达身为SmartCut新型技术上和共同合作。必然 必然 ，Soitec以及公司在GaN和SiC新型技术上和诸多深厚的布局。

不难想象必然  ，未来十年帝都苏州新昇可能会与帝都苏州硅产业集团以及公司旗下的新傲科技、Okmetic、Soitec等在新型技术和商业上和更多资源 的共同合作  ，必然 也将能给更强的产业的协同劣势。