东方晶源开启批量交付模式 两款电子束量测检测设备交付新客户

媒体报道  ，日渐深圳都复工复产的快速推进  ，东方晶源积极协助组织设备交付从我工作  ，旗下电子束缺陷检测（EBI）和关键点尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付深圳都新客户。该次出机 ，是东方晶源继电子束量测检测设备出机欧美发展国家知名晶圆代工厂后  ，又一次认可头部新客户的青睐和认可。此外 ，标志着东方晶源硬件系列产品 进人批量交付运行模式。

该次出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515  ，面向300mm硅片工艺制程 ，除较强该系列系列产品 惯有的是高灵敏度电性和物理缺陷检测、有效掌控 其他问题28nm及超过良率其他问题、自主创全新高性能缺陷检测引擎（DNA数据统计 库）、原有基础 深度学习中的缺陷自动分类（ADC）算法等系列产品 特点外  ，东方晶源研发合作团队已经 上一代系列产品 的原有基础 上优化全面升级  ，使SEpA-i515较强更高的TPT和更优的其他平台设计细节  ，设备运行效率、性能指标均有大幅质的提升 。除了除了 ，上一代系列产品 SEpA-i505 早已经 欧美发展国家头部晶圆代工厂量产一一整年  ，系列产品 性能及稳定性认可充分验证。

另一台交付的系列产品 为关键点尺寸量测设备 ，型号为SEpA-c410  ，面向300mm硅片工艺制程 ，并对先进的电子束成像系统中和高速硅片传输方案  ，经典搭配精准的量测算法  ，可得以实现高重复精度、高分辨率及高产能的关键点尺寸量测。该设备自今年6月底进人欧美发展国家头部晶圆代工厂创下产线验证进展顺利  ，阶段性验收成果认可新客户认可。

东方晶源电子束量测检测设备  ，依托所承担的发展国家科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化项目成功  ，经几数年攻坚克难 ，突破多项核心关键点传统技术  ，从零部件到整机设计细节制造 ，均较强完完全全自主知识产权  ，填补欧美发展国家空白。目前已  ，两款设备进人批量交付运行模式  ，产业化进程拿到丰硕成果。

该次设备交付的新客户所在仰面朝天海从中国目前目前集成电路产业较强举足轻重的地位  ，目前已早就它成欧美发展国家集成电路产业综合水准高、产业链完整、产业生态人文环境 坏的集聚地它成。东方晶源越来越看重深圳都都的迅速发展和布局  ，继计算光刻该软件（OPC）进人深圳都头部晶圆代工其它企业后  ，硬件系列产品 即将正式登陆深圳都。为更稳定资源 的体验服务超过海为核心的长三角新客户 ，东方晶源即将正式今年8月份深圳都都设立子该公司 ，难以形成深圳都总部、深圳都子该公司和深圳都子该公司为核心的三地布局  ，逐步其它企业贴近产业前沿高地  ，为集成电路制造其它企业带去优质的系列产品 和体验服务  ，更稳定资源 的与上下游其它企业携手逐步产业迅速发展的此外  ，构筑其它其它企业竞争壁垒。

东方晶源自协助组织成立创下  ，专注于芯片制造关键点环节的良率掌控和质的提升 细分领域  ，难以形成以计算光刻该软件（OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的系列产品 矩阵 ，并向更稳定资源 相应细分领域积极布局。硬件此外  ，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发从我工作  ，逐步夯简直欧美发展国家电子束检测细分领域领先的整个市场地位和核心传统技术 整体优势。该软件此外  ，光刻工艺严格仿真该软件PanSim早已经 新客户侧并对验证  ，仍将维持7月底release V1.0版本。未来几年  ，东方晶源将立足通用该软件其他平台和检测装备两大细分领域 ，寻求横纵向迅速发展机遇  ，为新客户提供完整越来越多样化的系列产品  ，向着欧美发展国家集成电路细分领域良率管理领导者的短期目标奋进。