东方晶源电子束缺陷检测设备EBI 斩获第五届“IC创新奖”

　　7月9日  ，由中国本土集成电路创新防守效率主办的”2022集成电路产业链协同创新发展中交流会”以六大会场加图片来源来源连线的多种方式多同步举办。来自中国集成电路全产业链各环节的优秀制造企业、高校和科研院所的千余位象征参会 ，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海钱先生受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业核心技术创新奖（简称“IC创新奖”）  ，东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI） ，拿了核心技术创新奖。

　　“IC创新奖”由中国本土集成电路创新防守效率主办  ，面向国内外集成电路产业链上下游企事业其它单位征集  ，重点鼓励集成电路核心技术创新、成果产业化、产业链上下游共同合作  ，是集成电路产业最不可或缺的核心技术奖项他成  ，共有 核心技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大核心技术创新和不可或缺核心技术开发主要主要原因 成就 重大突破的其它单位和核心团队。据悉摘得细分行业重磅赛事的不可或缺奖项  ，第二次彰显出东方晶源在电子束检测、量测细分领域的核心技术实力超强和细分行业的其它平台高度认可。

　　检测是芯片制造厂商降低良率的不可或缺方式多。电子束检测设备具有独特超高精度  ，在高端芯片制造过程中发挥的作用很大越发大。由于目前  ，该类设备被国内外厂商垄断  ，他成 制约中国芯片制造自主可控的不可或缺瓶颈。东方晶源数年磨剑 ，大获研声响国内外首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505 ，可直接直接提供的纳米级缺陷检测和深度分析解决好方案。由于由于目前对其中国头部芯片制造厂商产线验证  ，验证然而表明主要主要原因指标与国内外一线对标机台以内同等技术水平 ，大获解决好中国在电子束检测细分领域的不可或缺核心技术解决好。

　　东方晶源在电子束检测、量测细分领域已深耕多年并大获不仅推出多款设备  ，成就 重大突破。除据悉获奖的电子束缺陷检测设备EBI外 ，旗下首台12英寸不可或缺尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于下半年6月即将进入产线验证 ，由于目前实现成熟制程量产验证  ，图像质量清晰 ，与POR 的CD差异可以主要需求按照要求  ，性能第二次改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于下半年3月即将进入产线验证  ，由于目前还没有即将进入准客户产线小规模试产。共有  ，东方晶源还于近几个月 正式发布了电子束缺陷复检设备（DR-SEM）  ，由于目前该设备工程机（Alpha机）还没有对其首轮wafer demo ，就能可以主要需求28nm及以内能 制程可以主要需求  ，Beta机集成工作时加速推进中  ，已成就 准客户订单  ，即将进入产线验证指日可待。

　　他成 第一家聚焦集成电路良率管理细分领域 ，以降低芯片制造门槛为使命的半导体制造企业  ，东方晶源依旧以研发创新为发展中核心  ，持续下降的丰富系列产品 矩阵并降低系列产品 性能  ，填补多项国内外空白。今后  ，东方晶源将第二次立足一体化该软件其它平台和检测装备两大细分领域 ，以准客户为两个中心  ，以市场大为导向  ，持续下降的对其核心技术突破与系列产品 创新  ，与中国集成电路产业上下游制造企业勠力同心  ，推动中国集成电路制造产业第二次高速发展中。